'다윗' CMTX '골리앗' 램리서치에 특허심판 전승

연 매출 2000억원 규모의 국내 반도체 소재·부품 기업이 글로벌 장비업체를 상대로 한 특허심판에서 전승을 거뒀다. 업계에선 “다윗이 골리앗을 이겼다”는 평가가 나온다.

6일 반도체업계에 따르면 특허심판원은 지난달 30일 CMTX가 청구한 권리범위확인심판에서 “CMTX 제품은 램리서치 특허의 권리 범위에 속하지 않는다”고 판단했다. 미국 반도체장비 업체인 램리서치는 2024년 10월 CMTX의 ‘한정 링’ 제품이 자사의 ‘무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치’ 관련 특허 두 건을 침해했다며 서울중앙지방법원에 특허권 침해 금지 및 손해배상 청구 소송을 제기했다. 이 제품은 반도체 식각 공정 장비 내부에 장착하는 핵심 실리콘 부품이다.

이에 CMTX는 각 특허에 대해 권리범위확인심판과 특허무효심판을 청구했다. 이번 심결은 한정 링 관련 마지막 판단으로, 앞선 3건에 이어 모두 CMTX의 손을 들어줬다. CMTX는 이번 결과로 서울중앙지법에서 진행 중인 본안 소송에서도 유리한 위치를 확보하게 됐다고 강조했다.

다만 분쟁은 당분간 이어질 전망이다. 램리서치는 앞선 심결 결과에 불복해 이미 3건의 심결 취소 소송을 특허법원에 제기한 상태다. 램리서치의 지난해 매출은 약 206억달러(약 29조9000억원)로, CMTX(1605억원)의 180배를 웃돈다. CMTX 관계자는 “글로벌 장비업체들이 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업의 시장 진입을 막는 행태에 맞서 의미 있는 성과를 거뒀다”고 말했다.

램 리서치는 2024년 한 해에만 8건의 특허 소송을 제기했다. 한국 내 특허 등록 건수도 2020년 68건에서 지난해 344건으로 5년 만에 5배 이상으로 늘었다.

이광식 기자 bumeran@hankyung.com