도쿄일렉트론, AI 반도체 제조 솔루션상 수상

도쿄일렉트론이 인공지능(AI) 반도체 제조 기술 경쟁력을 인정받아 글로벌 어워드에서 관련 부문 수상 기업으로 선정됐다. 생성형 AI와 거대언어모델(LLM) 확산으로 고성능·저전력 반도체 수요가 커지는 가운데, 첨단 패키징과 3차원 집적 기술이 AI 인프라의 핵심 기반으로 부상하고 있다는 평가다.

도쿄일렉트론은 제9회 'AI 브레이크스루 어워즈'에서 '올해의 AI 반도체 제조 솔루션' 부문에 선정됐다고 29일 밝혔다. AI 브레이크스루 어워즈는 글로벌 AI 시장의 기업과 기술, 제품을 조사·분석하는 시장조사기관 AI 브레이크스루가 주관하는 시상 프로그램이다. 올해 AI 브레이크스루 어워즈에는 20여개국에서 수천 건의 후보가 접수됐다. 에이전트형 AI와 생성형 AI, 컴퓨터 비전, AI운영, 로보틱스, 자연어 처리, 산업별 AI 응용 등 다양한 부문에서 경쟁이 이뤄졌다.

도쿄일렉트론이 내세운 핵심 기술은 3D 집적(3DI)이다. 로직과 메모리를 정밀하게 쌓아 하나로 통합해 대역폭을 높이고 지연 시간과 전력 소비를 줄이는 방식이다. 회사는 이 기술이 생성형 AI, LLM, 고도화된 데이터 분석처럼 대규모 연산이 필요한 작업에 필요한 고성능·저전력 반도체 생산을 뒷받침한다고 설명했다.

반도체 제조 공정에 AI를 적용하는 기술도 수상 배경으로 꼽혔다. 도쿄일렉트론은 첨단 소프트웨어와 AI 기반 공정 제어를 통해 고객사가 수율과 균일도, 신뢰성을 높이고 양산까지 걸리는 시간을 줄일 수 있도록 지원하고 있다고 했다.

이시다 히로시 도쿄일렉트론 대표이사 수석부사장은 "도쿄일렉트론은 지난해 말 새로운 DX 솔루션 콘셉트 'Epsira™'를 선보이며 AI를 뒷받침하는 핵심 기술을 고도화하고 생태계 전반의 혁신을 이끌어 왔다"고 말했다.

그는 "Epsira™는 데이터를 매개로 장비와 고객사 현장을 빈틈없이 연결해, 장비 생산성은 물론 반도체 제조 전반의 성능까지 함께 높인다"며 "전공정과 후공정 역량을 하나로 묶어 3DI의 진화를 가속화하고, 차세대 반도체 혁신을 뒷받침하겠다"고 했다.

스티브 요한슨 AI 브레이크스루 매니징 디렉터는 "도쿄일렉트론은 AI 소프트웨어 기업을 표방하는 대신, AI 발전이 실제로 시작되는 지점에 집중한다"고 평가했다. 그는 "AI가 글로벌 기술 지형을 재편하고 있는 가운데, 반도체는 최신 AI 가속기의 심장과도 같지만, 미세화는 이미 물리적 한계에 부딪혔다"며 "이제 AI 성능은 첨단 패키징과 3차원 구조에 의해 점점 더 크게 좌우되고 있다"고 했다.

홍민성 한경닷컴 기자 mshong@hankyung.com