소부장 국산화 지원 결실…반도체 공정용 나노급 필터 자립 생산 돌입

전량 수입에 의존하던 반도체 세정 공정용 나노(nm)급 필터가 국내에서 생산된다. 소부장 핵심품목 국산화 지원이 결실을 맺은 셈이다.

산업통상자원부는 17일 나노급 필터 생산 기업인시노펙스 동탄 공장에서 신규 생산 라인 준공식에 참석했다고 밝혔다.

반도체 선폭의 미세화에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성이 부각되고 있다. 세정 공정의 핵심 부품인 나노급 필터는 전량 수입에 의존하고 있었지만 이번 생산라인 준공으로 국내 수요 100% 이상의 생산 능력을 가진 공장을 국내에 확보할 수 있게 됐다.

시노펙스의 이번 성과는 수요-공급기업 간 상생협력이 있었기에 가능했다는게 산업부의 설명이다. 국내 반도체 세정 장비사들은 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술개발을 요청했고, 시노펙스는 국내 장비사에 고품질 나노필터 공급을 위해 기술개발에 착수했다. 산업부는 소부장 협력모델을 통해 연구개발(R&D) 등을 신속히 지원해 수요-공급기업의 협력을 뒷받침했다.

이승렬 산업부 산업정책실장은 “첨단 산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요,공급기업 간 협력이 중요하다”면서 “12월 10일 소부장 특별법 개정으로 '소부장 특별회계'가 5년 연장되고 '소부장 및 공급망 안정화 특별회계'로 확대 개편된 만큼 정부는 첨단산업 초격차 연구개발(R&D) 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 지속 확대해 나가겠다”고 강조했다.

박효주 기자 phj20@etnews.com