팸텍, 로봇 전문기업 티아이에스 인수

자동화 장비 전문기업 팸텍이 산업용 로봇 전문기업 티아이에스 지분 100%를 인수하고 반도체 공정 자동화 장비 사업을 본격화한다고 1일 밝혔다. 인공지능(AI) 반도체와 첨단 패키징 시장에서 주목받는 유리기판 장비 시장을 선점한다는 계획이다.

팸텍은 이번 인수로 티아이에스가 보유한 산업용 로봇 기술과 전문 인력을 확보하게 됐다. 티아이에스의 기술을 활용해 반도체 이송 구간(EFEM)과 소터 등 반도체 물류 자동화 장비 사업을 고도화한다는 계획이다. EFEM은 웨이퍼를 공정 장비에 자동으로 공급·회수하는 전처리 장비, 소터는 웨이퍼를 검사·분류하는 장비다.

최근 대면적·고집적 패키징에 적합한 차세대 소재로 유리기판이 떠오르면서 관련 장비 시장도 빠르게 성장할 것으로 전망된다.

이광식 기자 bumeran@hankyung.com